IEPE 가속도계와 DC MEMS 가속도계의 공진 주파수 비교

진동, 소음 계측기 전문 업체 싸이러스㈜입니다.
이번에는 가속도계의 공진주파수를 google AI의 도움으로 정리를 하였습니다.

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IEPE, Charge가속도계의 공진 주파수는 기계적 구조가 가장 쉽게 진동하는 고유 주파수로 가장 높은 감도를 나타냅니다. 진동 측정을 위해 가속도계를 선택하고 사용할 때 이 주파수를 고려하는 것이 중요합니다. 이 주파수 근처나 이 주파수 이상에서 작동하면 부정확한 측정 결과가 나올 수 있기 때문입니다

즉, 공진 주파수는 가속도계의 내부 구성 요소가 외부 힘을 받았을 때 가장 큰 진폭으로 진동하는 주파수입니다.

공진주파수는 IEPE/Charge 센서와 DC MEMS 센서의 다른 특징이 있습니다.

IEPE 센서는 고주파일 때 공진주파수에 의하여 감도가 커지는 것을 볼 수 있습니다.

DC MEMS 센서는 고주파일 때 센서의 감도가 작아지는 것을 볼 수 있습니다.

아래는 7500A1 고감도, 저주파 DC MEMS 센서의 주파수 응답 시험을 하였습니다.

7500A1 DC MEMS의 규격은 아래와 같습니다.
측정 범위 : 2 g
센서 감도 : 1,000 mV/g (+/-10%)
주파수 응답 : 0 -100 Hz (+/-5%), 0-400 Hz (+/- 3dB)

SPEKTRA사 CV-10 이동식 교정시스템을 사용하여 “주파수 응답” 시험을 하였습니다.

아래 사진을 보면 20Hz 교정에서 감도가 997mV/g, 2,000Hz에서 136mV/g가 나오는 것을 확인 할 수 있습니다. 즉, IEPE 센서와 반대로 주파수가 높아지면 감도가 작아지는 것을 볼 수 있습니다.